二氧化氯可由氯酸鈉製取，在飲用水處理和工業冷卻水處理中作用的也很多。氯酸鈉有爆炸危險，應慎重使用。臭氧用淨化過的空氣經高壓放電裝置製取，目前有中小型臭氧發生器用於小區供水或中央空調冷卻水係統的滅菌，同樣適用於反滲透裝置的滅活處理，多餘的臭氧同樣可以用活性炭吸收處理。
在反滲透水處理工藝過程當中，除了運轉中的殺菌以外，還需要在設備停用中的殺菌問題。通常在停機48小時以內可以用原水進行衝洗，超過48小時可用1.5%亞硫酸氫鈉液進行封存，達到2周的周期時要使用甲醛消毒液殺菌，千萬不可用市售的84消毒液對膜元件進行殺菌，這樣會對膜元件產生損害。
